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產(chǎn)品介紹

YAMATO等離子裝置，13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。

特征：

• 可變更電極構造提高等離子效果。
• 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
• 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途：

• 硅晶圓的灰化及蝕刻
• 基板表面污垢處理
• IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
• 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
• 自然氧化膜·有機物去除
• 界面活性處理
• 表面污染物去除

技術參數(shù)：

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PDC600小型、多段式等離子清洗機。

用途：

• 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
• 灰化、蝕刻處理
• 塑料封裝前處理
• 印刷基板鍍層前處理
• LED關聯(lián)部品處理
• 電子部品清洗
• 光刻膠剝離或表面殘留物去除
• 光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
• 包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
• FCC對應

特征：

• YAMATO等離子裝置，600W的小型高輸出功率
• 電極可選擇1·2·3段（采購時選）
• 可處理縱型的試料收納盒
• 可選擇RIE/DP模式（采購時選）
• 數(shù)據(jù)記錄器（選配）
• 適配點記憶功能（選配）

技術參數(shù)：