非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部
隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化。使用近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package)、三維組裝、CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進(jìn)行無損檢查和分析。
倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析
在倒裝芯片的焊接中,組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是,如果使用近紅外線顯微鏡,則可以在不破壞封裝的前提下,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。只要置于顯微鏡下,就可以輕松進(jìn)行不良狀況分析。對必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的也有效。
晶圓級CSP開發(fā)的環(huán)境試驗(yàn)導(dǎo)致芯片損壞
晶圓級CSP的高溫高濕試驗(yàn)導(dǎo)致器件的變化,可以用非接觸方式檢查。此外,還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。
![]() 鋁引線部分(內(nèi)面觀察) | ![]() 焊錫溢出性評價(jià) | ![]() 電極部分(內(nèi)面觀察) |
針對不同樣品的顯微鏡產(chǎn)品陣容
MX系列產(chǎn)品(半導(dǎo)體檢查型號)
可以用來觀察150~300 mm晶圓等的大型樣品。只對應(yīng)反射照明觀察。
![]() 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61 | ![]() 工業(yè)檢查顯微鏡 MX51 |
BX系列產(chǎn)品(標(biāo)準(zhǔn)型號)
![]() 研究級全電動(dòng)系統(tǒng) 金相顯微鏡 BX61 | 對應(yīng)反射光觀察和透射光觀察。 |
BXFM(嵌入式設(shè)備型號)
![]() 小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM |
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